在碳化硅中加入金属硅粉和碳(石墨、碳黑等)，在1450℃埋碳烧成，使硅粉与碳反应生成低温型β- SiC，将原碳化硅颗粒结合起来。另一种方法：由碳与金属硅直接反应生成碳化硅制品，即用碳或碳与碳化硅成型，埋硅烧成。两方法均可制成性能良好的碳化硅制品。由于制品中一般含有游离硅8%～15%及少量游离碳，使其使用温度低于1400℃以下。其导热系数、耐冲击性良好，但强度、硬度、耐腐蚀性差。反应烧结碳化硅陶瓷制品在烧结前后尺寸几乎不变，因此，成型后可加工成任意形状和尺寸，尤适合大规模、复杂形状的产品。